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产品描述
氘代硅烷在Gigabyte DRAM 生产中用作不含氢的硅源，其中通常包含在晶格中的氢对栅极的高速运行有害。晶格内较重的氘为热电子效应引起的损伤提供了质量屏障，从而延长了器件的寿命。氘硅烷还用于各种研究应用，以测定氢的热力学掺入率。
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中文名 |
氘代硅烷 |
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中文别名 |
氘代硅烷-D4 |
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英文名 |
SILANE-D4 |
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英文别名 |
[2H4]silane, SILANE-D4 ISOTOPIC ENRICHMENT, |
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CAS |
13537-07-0 |
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EINECS |
236-899-3 |
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化学式 |
D4Si |
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分子量 |
36.14 |
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密度 |
1.114g/mLat 25°C(lit.) |
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熔点 |
—185°C(lit.) |
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沸点 |
—112°C |
关键词:
SiD4 氘代硅烷
氘代硅烷-D4
氘代试剂
氘代气体
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ND3 氘代氨
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