产品系列
- 产品描述
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氘代硅烷在Gigabyte DRAM 生产中用作不含氢的硅源，其中通常包含在晶格中的氢对栅极的高速运行有害。晶格内较重的氘为热电子效应引起的损伤提供了质量屏障，从而延长了器件的寿命。氘硅烷还用于各种研究应用，以测定氢的热力学掺入率。
中文名
氘代硅烷
中文别名
氘代硅烷-D4
英文名
SILANE-D4
英文别名
[2H4]silane, SILANE-D4 ISOTOPIC ENRICHMENT,
CAS
13537-07-0
EINECS
236-899-3
化学式
D4Si
分子量
36.14
密度
1.114g/mLat 25°C(lit.)
熔点
—185°C(lit.)
沸点
—112°C
关键词:- SiD4 氘代硅烷
- 氘代硅烷-D4
- 氘代试剂
- 氘代气体
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